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氣體是電子工業的“血液”，尤其在半導體、光伏、光纖、顯示器等行業中是關鍵性材料。例如，在集成電路制造中氣體的占比僅次于硅片，占晶圓制造成本的13%。主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。電子工業涉及的氣體品種繁多，用途五花八門，...

質量流量計MFM、流量控制器MFC、以及電子壓力控制器EPC是精度較高的流量儀表，在科研、醫療、食品、半導體及各行業工業領域有廣泛應用。大多數工業應用的流量儀表產品是通過電流或電壓模擬信號，或者數字通訊（Modbus、Devicenet，P...

質量流量控制器不僅能檢測總流量，并且能在檢測時自動控制總流量?？蛻裟芨鶕旧淼乃柙O置總流量。一般來說，這種質量流量計僅用作流量測量或監測。該流量控制器采用毛細管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質量流量（無氣溫和負擔應對）。傳感器受熱橋測得的總流量...

本文所述的小口徑、微小流量液體流量控制器是指流道管徑小于2”，流量小于2500Kg/h的小流量；尤其是對管徑更小，而流量小于1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控制。對于液體流量計（只測流量，不控制流量），市場上的種類很多，但是可以...

質量流量控制器（MFC）在控制氣體流量時，由于需要通過控制流量控制閥的開度實現流量控制，所以需要滿足一定的壓差條件（即其進氣端壓力要比出氣端壓力大一定的數值），需要控制的流量越大，需要流量控制閥的開度就越大，這個壓差值就需要越大（即當其出口...

氣體和液體是工業生產或科研實驗常用的流體，在實際應用過程中經常需要用到流體的流量來代表流體量的多少，并且使用體積流量單位較多，尤其是氣體，但是氣體的體積受到溫度和壓力的影響會比較大。而實際應用時，工況變化是比較復雜的，同一段管路可能不同位置...