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在薄膜制作工藝中，某些金屬有機(jī)化合物（MOCs）、氫化物、氨氣等前驅(qū)體蒸氣壓遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（760Torr），在常溫下很難蒸發(fā)。這些前驅(qū)體需要被輸送到化學(xué)氣相沉積(CVD)反應(yīng)器中，傳統(tǒng)的方法是，使用溶劑/溶質(zhì)化學(xué)和液體輸送。某些固體前...

我司液體壓力控制器配備了高性能傳感器和數(shù)字電路板，可提供更高精度和性能的壓力控制，通過調(diào)節(jié)設(shè)定值就能精準(zhǔn)的控制整個(gè)工藝過程，除了標(biāo)配的Modbus協(xié)議外，還支持Profibus、Profinet等協(xié)議。案例參數(shù)：介質(zhì)：液體、入口壓力：22M...

我司的壓力控制器為直通式設(shè)計(jì)，量程范圍從100Pa到40MPA（絕壓和表壓皆可）。此外，還可提供差壓變送器。該系列儀表精確度高、重復(fù)性好，分為前壓控制和背壓控制兩種。標(biāo)配一個(gè)壓電膜片式壓力傳感器和數(shù)字電路板，提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測(cè)量...

質(zhì)量流量控制器（MFC）的毫秒級(jí)響應(yīng)能力，源于其內(nèi)部一個(gè)高度集成和優(yōu)化的閉環(huán)控制系統(tǒng)。該系統(tǒng)的核心目標(biāo)是讓氣體的實(shí)際流量瞬時(shí)且精確地跟蹤設(shè)定值，其邏輯是一個(gè)持續(xù)運(yùn)行的“測(cè)量-比較-校正”微循環(huán)。一、閉環(huán)控制邏輯的核心環(huán)節(jié)測(cè)量：MFC采用熱式...

科里奧利質(zhì)量流量計(jì)（CoriolisMassFlowmeter）簡(jiǎn)稱科氏力流量計(jì)，是一種利用流體在振動(dòng)管道中流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生與質(zhì)量流量成正比的科里奧利力原理來直接測(cè)量質(zhì)量流量的裝置，由流量檢測(cè)元件和轉(zhuǎn)換器組成。科里奧利質(zhì)量流量計(jì)實(shí)現(xiàn)了質(zhì)量流量的直...

超臨界流體，如超臨界二氧化碳（SC-CO?），憑借其獨(dú)特的物理性質(zhì)，在萃取、染色、發(fā)電和碳捕獲等工業(yè)與科研領(lǐng)域應(yīng)用日益廣泛。然而，當(dāng)其處于臨界點(diǎn)附近時(shí)，微小的溫度或壓力波動(dòng)都會(huì)引發(fā)密度、粘度等物性的劇烈變化，這給精確的流量測(cè)量帶來了的挑戰(zhàn)。...